長期以來，全球高端光刻機市場被荷蘭ASML、日本JEOL等少數(shù)企業(yè)壟斷，形成 “技術(shù)壁壘+價格壟斷”的格局——國際主流電子束光刻機單臺售價超2億元，且對技術(shù)輸出設置嚴格限制。而浙江大學 “羲之” 光刻機的應用，正打破這一格局，為全球高端光刻機市場注入 “中國力量”。
“羲之”的競爭優(yōu)勢體現(xiàn)在 “精度+效率+成本” 三重維度：0.6nm 定位精度超越日本 JEOL 設備（±5nm），3 倍加工效率領(lǐng)先荷蘭ASML同類產(chǎn)品，且因78%的國產(chǎn)化率，設備價格較國際主流產(chǎn)品低 30%，這種 “高性能+低價格” 的組合，已吸引東南亞、歐洲的中小芯片企業(yè)關(guān)注，目前已有 3 家海外企業(yè)表達合作意向。
更重要的是，“羲之” 的技術(shù)路線為全球光刻機發(fā)展提供了新方向。傳統(tǒng)光刻機依賴復雜的光學系統(tǒng)與掩膜技術(shù)，而 “羲之” 采用的電子束無掩膜直寫技術(shù)，避開了光學元件的技術(shù)瓶頸，且更適配量子芯片、先進封裝等新興領(lǐng)域的制造需求。這種技術(shù)創(chuàng)新，有望推動全球光刻機從 “光學時代” 向 “電子束時代” 轉(zhuǎn)型。
隨著 “羲之” 逐步打開國際市場，國產(chǎn)半導體產(chǎn)業(yè)鏈的國際影響力也將提升。線路板作為芯片應用的配套環(huán)節(jié)，將伴隨國產(chǎn)芯片、設備的出口走向全球 —— 海外芯片企業(yè)采用 “羲之” 制造芯片后，可能優(yōu)先選擇適配的國產(chǎn)線路板產(chǎn)品，線路板企業(yè)可借勢拓展國際高端市場，提升全球份額。
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